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$广信材料(SZ300537)$
太阳井电镀铜的创新点:自制掩膜+边缘保护+柔性接触电镀。太阳井基本工艺流程包括铜种子层沉积、表面及边缘掩膜涂布、曝光显影、电镀、去膜刻蚀等。
(1)自研匹配的掩膜材料:干膜碎片率高、成本高,加上市场上的湿膜无法满足药水兼容性、去膜难易程度等问题,太阳井自研了掩膜材料,栅线能做到10-15微米;
(2)边缘保护:湿膜引入带来硅片垂直边缘电镀上铜的问题,会造成正负电极相连,引起局部短路,太阳井针对边缘保护进行材料和设备开发;
(3)柔性接触电镀:水平or垂直方式并不重要,关键在于提供电流的方式,不同于夹子探针硬接触、滚轮接触、电刷接触、面接触等,柔性接触电镀通过一个柔性的导电材料和硅片进行接触,避免了现有技术中硬质导电点夹持电池片导致的裂片或者碎片问题,电镀之后无需对柔性导电件进行消镀处理,节省消镀时间,提升生产效率。
下游进展:200MW试验线已验收。 21年12月设备进厂,22年1月首片下线,设备一直在升级迭代,已累计交付20余台设备,近期200MW客户验收完成,主要指标包括效率提升0.2%(未来极限可能在0.3%)、金属化全成本0.1元/W(未来可能降低至8-9分)、良率95%(150微米硅片,23年4月导入的130微米硅片良率为91.2%,未来能提升至98%)、稼动率92%、焊接拉力1.8-2.5N。$罗博特科(SZ300757)$

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2023-06-30 11:16