公布了！光刻机果然是走新的技术路线直接超车应该叫投影物镜光刻机，2022年4月12号就申请专利，申请公布时间是今年的10月27日，还没有对外授权。所制造的芯片有，设计周期短，制造成本低，精度更高的特点。