北方华创的设备到底在国内啥水平，RT1）刻蚀设备电感耦合等离子体刻蚀机（ICP）：原研迭代搞了十多年，国内第一，公司多晶硅及金属刻蚀系列 ICP 设备实现规模化应用，完成了浅沟槽隔离刻蚀、栅极掩膜刻蚀等多道核心工艺开发和验证，助力国内主流客户 技术通线，已实现多个客户端大批量量...