作者：小牛起航

引用：

光刻机产业链，整机：上海微电子 。
张江高科：持股上海微电子10.779%的股份；
上海电气：母公司为上海微电子第一大股东。
长春光机所。
奥普光电：长春光机所为公司实际控制人。