全世界最“纯”的第三代半导体,是怎样炼成的?

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“最开始我们落户在县级市,想招一个本科生都很难。除了我是个博士,下面几乎都是高中、中专、大专生,甚至有种田的、修电机的等各种背景的人,但我们是高科技行业,这很矛盾。怎么把这些人培养到能干事?只能矮子里拔高个,把表现好的提拔上来。现在我们好几个部门的领导,都是优秀的善于思考的中专、高中生……”

晶越半导体创始人高冰,在创业初期,一步步把这样一支“杂牌军”带成“正规军”,在短短3年的时间里,攻克了一系列“卡脖子”难题,成功研发出高纯碳化硅原料,纯度达到了“7个九”(99.99999%),相比之下,行业的普遍纯度只有“6个九”;碳化硅晶体的总位错缺陷密度批量控制到了1000个/cm2以下,其中螺位错缺陷密度控制到5个/cm2以下,基面位错缺陷密度控制到50个/cm2以下;高纯碳粉的纯度达到99.9999%以上。如今,晶越半导体已经成为中国第三代半导体的领军企业之一,公司也申请了博士后工作站,陆续有国内外的博士人才加入队伍。

高冰堪称第三代半导体浪潮中的“深度玩家”。在创立晶越半导体之前,他是一位拥有广泛国际视野的专业学者,曾先后于日本九州大学、挪威科技工业研究院和武汉大学进行研究教学。在科研中,有感于中国在碳化硅领域面临的技术封锁,他在3年前创立了晶越半导体。

在【泉果无限对话】的分享开始之前,高冰帮大家校准了对于第三代半导体的认知,并简单回顾了前两代半导体的历程。

以下是高冰演讲全文精选:

大家普遍认为碳化硅是第三代半导体,但这种说法不太精确,应该称为宽带隙半导体。它与第一代和第二代不是取代关系,而是互补关系,是半导体材料在高功率和高频率应用领域内的一个重要拓展。

第一代半导体是硅和锗,主要用于低压、低频、中功率的晶体管和光电探测器。硅基半导体的出现使得集成电路的大规模发展成为可能。

第二代半导体是砷化镓和磷化铟,被用于制作毫米波器件、发光器件、通讯设备、卫星通讯、移动通讯、光通信、GPS导航等,由于它们的电子迁移率较高,因此特别适合用于通讯。但是,它们的明显缺点是含有毒素,如砷和磷,这对环境造成较大污染,因此这些材料的使用正逐渐减少。

第三代半导体包括碳化硅、氮化镓、氮化铝、金刚石和氧化锌。通常,碳化硅和氮化镓被视为第三代,氮化铝被视为3.5代,金刚石和氧化锌被视为第四代。它们主要用于高温、高频、抗辐射和大功率器件。

人类发展不可避免地伴随着能源的大规模利用,相比硅而言,碳化硅等材料因其能够承受高功率和高温度而变得非常有用。这些材料还能够制作蓝、绿、紫光二极管和半导体激光器,具有快速的电子迁移率,带隙比较宽,使它们能够承受更高的电压,适用于高频和高温环境,不容易被击穿。

作为第三代半导体的主要材料,碳化硅(SiC)晶片在电动汽车、5G通信、航天航空等领域都有广阔的应用前景,这方面的研发也因此成为国际半导体领域的兵家必争之地。2018年,特斯拉就作为全球首家车企,开始在Model 3车型上大范围使用碳化硅器件。

高冰主要观点概述:

【1】这两年创办企业的过程中,让我深刻感受到,中国人非常勤奋,一旦突破,就会迅速的发展壮大,导致供需平衡被打破的频率越来越快。

【2】中国已具备独立发展碳化硅产业链的所有资源,碳化硅产业链将逐渐由以欧美日为主导转向以中国为主导。

【3】我坚信,人才的培养需要时间,不能拔苗助长。我们坚持自我培养,不从其他公司挖人。虽然这个过程看起来很慢,但它会越走越快。

【4】很多人重“理”轻“工”,我之前在大学里也觉得理论最重要,但办企业的时候发现,工艺才是最重要的。因为原理大家都清楚,但如何能做到稳定生产且良率高,这是一个需要长期摸索、多年沉淀的过程。

【5】做工艺要能坐冷板凳,能耐得住寂寞。我常在公司里讲,我们不求三年五年成为全国老大,我们只要把一件事做好、做到极致,最终一定会脱颖而出。

【6】2024年碳化硅产业链的投资有所回落,但这是暂时的,是螺旋性周期演化的一个特定阶段。因为人类的发展与能源的大规模利用密切相关,而碳化硅又是高能量密度利用的一个最佳材料,这个世界最终一定是向着高电压、高电流、高功率方向发展的。

01
【缘起】
碳化硅研究能综合运用我的所有知识

创业最开始也遇到了很多困难。比如如何把一堆人组织起来高效地做事,尤其当很多人并不是专业人才,不能直接上手的时候。既要教他们怎么做,还得让他们能协作,这比较难,但是我也乐在其中。

我从博士、博士后到教授,在国外也待了将近十多年。然后回到武汉大学当教授当了五年,后来创立了晶越半导体这家公司。

跟在学校相比,做企业是有压力的。因为要养这么多人,所以一定要赚钱。我最开始的时候,一心就想着要把生产线建立起来。后来发现,产线建成之后,能赚钱才是最重要的。必须要有自己的成本优势和技术优势,让产品被用户认可,否则很容易会被市场淘汰。

另外,能带领一个团队发展壮大,看着他们逐渐成为这个领域的专家,也让我乐在其中。即使现在有的人可能成了我的竞争对手,但能看到大家成长也是很让我高兴的。

其实,最初选择碳化硅这个领域也是机缘巧合,因为它跟我最初的专业领域跨度很大。

我的本科学的是农业机械设计与制造,主要研究收割机、插秧机等。后来研究生在中科院研究流体力学,然后到韩国研究航空工程,涉及飞机模拟。之后到日本去读博士后,研究材料和晶体。我是到了才发现,这个方向跟原来所学的都不一样,而且变动很大,相当于是从力学转到了材料学。

最开始的时候,我自己对这个专业转变有些困惑和不适应。但随着研究的深入,我逐渐发现了自己对这个领域的兴趣。

这是因为碳化硅的研究,需要综合运用我之前学习的所有知识,包括力学、传热学、机械学、计算机模拟仿真等等,所以自己在这个方向上比很多人更容易上手。两年后,我就从博士后直接晋升为副教授,而一般是要先当助理教授,两到三年后再升到副教授的。

我当时的导师叫柿本浩一,是国际晶体生长协会的的主席,国际声望很高。他最大的优点是,他对金钱没有太多追求,一门心思专注研究。你能感觉到,他只要一谈起研究就特别有能量,尤其对创造性的新想法充满了激情。在他的感染下,我逐渐也对研究产生了更浓厚的兴趣。而且我发现涉及到晶体和材料生长的领域,解决问题的能力特别重要。

在我去日本的第二年,我解决了工业应用领域的一些重大难题,因此也获得了几个国际大奖,包括日本和欧洲的奖项。攻克难题本身也是我的兴趣所在。

02

【机遇】

最大的市场是电动车领域

碳化硅是一种人造物质,在自然界中不存在。1905年,科学家在陨石中发现了碳化硅,发现它具有优异的性能,可以作为非常好的半导体材料。

为了利用碳化硅,人们必须在人为高温、高真空环境中去合成,让无序的硅原子和碳原子按一定规则排列,所以大家会听到碳化硅的“生长”工艺。

碳化硅(SiC):俗称“金刚砂”,无色晶体,硬度次于金刚石。最早的人造碳化硅,是1891年在制作人造钻石的过程中意外发现的。

图1. 巴林杰陨石坑

最早的碳化硅就来自于该陨石样本的分析

跟硅(Si)材料相比,碳化硅(SiC)具有如下优质属性(见下图),非常适用于高温、高频、大功率器件。比如碳化硅具有非常低的开关损耗,在用于直流与交流的高频转换的逆变器中,就可以极大地节省能源。

图2. 碳化硅与硅的属性对比

来源:高冰博士在泉果无限对话的分享

图3. 三代半导体的主要应用

来源:高冰博士在泉果无限对话的分享

碳化硅的应用主要集中在对功率要求较高的领域,比如电动汽车、轨道交通、5G通信基站,白色家电、以及光伏储能的逆变器和智能电网的远距离电力输出。碳化硅在降低能耗,节能减排方面非常突出,例如在高铁和电动车上能节省超过20%的能源,在家用电器上节省50%,并且提高风能存储效率20%等。

目前公认使用碳化硅器件最大的市场,是电动汽车电驱系统,它可以让体积节省40%,重量减轻30%,同时效率提高10%,相对硅基晶体管的优势很大。

图4. 碳化硅最大的市场应用:电动汽车

来源:高冰博士在泉果无限对话的分享

03
【竞争】
应对产能过剩必须大规模降低成本

这两年的发展让我深刻感受到,中国人非常勤奋,一旦一家有技术突破,其他企业也会迅速跟进,导致供需平衡被打破的频率越来越快。所以为了应对产能过剩,大规模降低成本是企业生存的关键。

我们选定了衬底作为创业方向,因为衬底的技术壁垒高,国内的产能缺口大,而且价值高,通常在一个半导体器件中,衬底的价值能占到总体价值的50%。

衬底(Substrate)处在碳化硅产业链的上游,它是所有半导体芯片的底层材料,主要起到物理支撑、导热及导电作用。全部后续工艺比如外延等,只能在衬底之上进行,所以一块好的衬底材料,是之后实施各种纷繁复杂半导体工艺的基石。下图中间部分,即为排列的多块碳化硅衬底。

图5. 碳化硅衬底

来源:浙江晶越半导体有限公司官网

以下为碳化硅的产业链,目前中国产业链比较完整,从生产设备、衬底、外延、到设计、制造、封装和应用都有发展。当前面临的“卡脖子”挑战的主要是单晶生长和晶圆制造。

图6. 碳化硅产业链

来源:高冰博士在泉果无限对话的分享

2020年至2022年,国内碳化硅市场的复合年增长率达到了40%,这在疫情期间是一个不错的成绩。民用市场规模达到了135亿,但相对于全球市场而言,这个规模还是较小的。目前,碳化硅市场主要由欧美和日本主导,其中欧洲的器件制造业非常发达,新能源汽车中90%以上的碳化硅器件由意大利的意法半导体(STMicroelectronics)提供的。

在碳化硅产业的发展中,我以前在大学里,总觉得理论最重要,会重“理”轻“工”。但实际上我办企业的时候发现,工艺是最重要的。因为即使原理大家都清楚,但如何做到稳定生产且良率高,是一个需要长期摸索过程。

比如碳化硅企业最重要的一个技术指标,就是“良率”。良率指合格的产品数量与生产出的总数的比率。良率既是一个技术问题,也是一个管理问题。

首先提高良率需要对材料有很深的理解。因为晶体生长的过程中有十几个参数,假如每个参数取10个值,那就是1010那么多种可能性,而且每次试错需要大约一周半的时间。可以想象,如果是没有理论指导的方向指引,那这种尝试的次数会是一个天文数字。

同时,在理论指导的基础上,也需要扎扎实实的把生产环节做好。比如我们会提日本的工匠精神,为什么他们在工艺上做的好,因为他们可能真的一辈子只做一件事,日复一日,反复研磨。

所以做工艺要能坐冷板凳,要能耐得住寂寞。我常在公司里说:“我们不求三年五年成为全国老大。我们只要把一件事做好、做到极致,最终一定会脱颖而出。”

04
【人才】
从中专生到博士后都能有一席之地

那时候公司小,不像大城市的大公司那样容易招到人。所以最初的时候,除了我是个博士,下面几乎都是高中、中专、大专生,甚至有种田的、修电机的,各种背景的人。

我们公司最开始在嵊州落户,是绍兴市下面的一个县级市,是个山区,坐车要走一个小时的山路才能到县城。那里招一个本科生都很难,更不用说研究生了。

刚开始,把人聚起来不容易,所以只要来我们公司,我们都欢迎。第一批的员工学历并不高,但我们是高科技行业,这很矛盾。因为做衬底这一块,很多工序的技术含量都是很高的。

怎么把这些人培养起来能干事?就只能就地取材,因材施教,矮子里拔高个,激发他们的创造性,把表现好的提拔上来。我们好几个部门的领导,都是优秀的善于思考的中专、高中生。

在解决问题时,我就鼓励他们发挥想象力,进行创造性思考。他们就会在一个小屋子里讨论,很多问题上,他们的解决方案可能比博士生想出来的还要好,成本低又有效。

比如,我们需要一种特定的胶,但当时市面上的胶水都有杂质问题,会影响良率。而如果要解决这个问题,我们得到的反馈是,可能需要千万级的投入。当时我们自己的团队就自己研发出了一种土方法,成功地滤掉了99%的杂质,既实现了工艺需求,而且成本非常低。

像这样创造性解决问题的故事,我们还有很多,关键要激发出团队的创造力。

现在,我们公司的整个产线已经建立起来了,如今的重要议题就是——各工序的良率如何保证,品质如何提升。因此,我们最近申请了博士后工作站,也招聘了一些海内外的博士。今年,人才建设会是一个主要的工作方向。一定要建立高层次人才团队,这样才有后劲。

我一直坚信,人才的培养是一个过程。

我们坚持不挖其他公司的人才,坚持自我培养。虽然这个过程看起来很慢,但它会越走越快。

因为当这个团队走过一个坑之后,你就会形成组织记忆,可以保证之后不犯同样错误。这使得我们的迭代速度更快,技术突破速度也越来越快,甚至在某些方面比美国顶尖公司的品质还要好。

培养人才需要时间,不能拔苗助长。

05
【未来】
世界在向高电压和大功率发展

碳化硅产业链,将逐渐由以欧美日为主导转向以中国为主导。

目前看,2024年的碳化硅产业可能会处于低迷期,这有如下几个原因:

1. 产业链的挑战。

因为下游的器件制造端发展滞后,消化能力有限,使得处于上游的衬底生产供过于求。这种供需失衡状态需要时间进行内部调节重新达到平衡。

2. 中国市场的成熟还需要时间。

参照美国四五十年的发展历程,中国的碳化硅产业开始也就是近几年的事情,仍在成长阶段。

3. 适应国际大环境。

因为中美脱钩导致衬底的出口订单下降,中国企业需要过渡和调整的时间。

但我认为,2024年的下降是暂时的,这是螺旋向上演化的一部分。因为人类的发展与能源的大规模利用密切相关,而且这个世界最终一定是向着高电压、高电流、高功率方向发展的。

目前,碳化硅的广泛应用主要受限于衬底价格太贵,但随着成本降低,尤其当碳化硅器件价格,降到硅器件的两到三倍时,会有大量硅基器件被替代,碳化硅的市场规模预计将呈现10几倍的增长。

另外,我认为未来的碳化硅产业链,将逐渐由以欧美日为主导转向以中国为主导,这是因为:

首先,未来的市场在中国。

中国政府大力扶持电动汽车产业以及新能源产业;而且电动汽车在全球已具备领先优势,这是一个很好的内驱力。

第二,中国已初步具备完整的碳化硅产业链。

从设备、衬底、外延、器件、封测、模组一应俱全,已具备快速降本的优势。

第三,中国已具备丰富的人才资源。

未来器件技术的品质和良率一定会突破,而且一旦突破,将会迅速的发展壮大。

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蚂蚁run03-25 20:11