同样的设备，两台机器之间也会存在微小的性能差异（机差）。机差可以说是半导体制造设备厂家在生产同一型号的设备时，因不可控因素的存在而可能产生的设备差异。随着半导体精密化程度的不断提高，机差问题日益显著。

据说英特尔要求位于爱尔兰、以色列以及美国的12寸晶圆批量生产工厂不仅要统一制造设备的类型、型号，连每一根管道的规格都要严格统一。此外，它还制定了设备维修、维护检查细节等的详细指南，要求三家共产严格执行。

尽管如此，三个工厂的成品率还是有差异，根本原因在于设备的机差。

机差较小的一台ASML曝光机具有的处理能力是尼康和佳能的2倍，凭借这种优势，ASML的全球市占率80%以上。