量测龙头$中科飞测(SH688361)$

1.半导体量检测国产替代空间巨大：半导体量测设备技术壁垒非常高，且市场规模大。前道量检测设备2021年市场规模114亿美元，目前国产化率不到10%，国产替代空间巨大。

2.公司明场和暗场设备验证顺利推进：公司无图形晶圆缺陷检测设备、图形晶圆缺陷检测设备、三维形貌量测设备系列是目前营收的主要构成。公司的套刻精度量测设备也已实现批量销售，客户订单量快速增长。公司自主研发的明场量检测设备目前小批量出货到多家国内头部客户产线上进行工艺开发与应用验证工作。在暗场设备方面，公司自主研发的暗场量检测设备正积极开展国内多家主流客户的多种复杂图形工艺样片的验证测试，包括逻辑芯片、存储芯片、功率芯片、2.5D HBM芯片等。下半年有望取得积极进展。

3.公司一季度订单实现了高速增长，全年维持高增态势。

4.风险提示：新产品开发进展不及预期、国际贸易摩擦加大