半导体设备板块震荡走高，芯源微大涨超10%，广立微、华海清科、海目星、拓荆科技、长川科技等涨幅靠前。

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半导体设备板块震荡走高，芯源微大涨超10%，广立微、华海清科、海目星、拓荆科技、长川科技等涨幅靠前。