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2024-07-22 20:20
【上海光机所在干涉仪绝对标定方法研究方面取得进展】中国科学院上海光学精密机械研究所高端光电装备部研究团队近期在基于功率谱密度分析的干涉测试绝对检测方法研究方面取得进展。相关研究成果以“Improving the Accuracy of Interferometer Testing with Absolute Surface Calibration and Power...