（报告出品方：民生证券）1 种类繁杂，半导体零部件成国产化新战场 1.1 半导体设备是高集成的复杂系统 半导体设备结构复杂，体积庞大，集成度高，由种类繁多的零部件组成。而伴 随半导体制造工艺的发展，对半导体设备提出了越来越苛刻的规格要求。半导体零 部件因此在材料、结构、...