一、整机1、上海微电子:张江高科、东方明珠、上海电气2、长春光机所:奥普光电二、部件1、光源:波长光电、 茂莱光学 、福晶科技2、物镜:赛微电子3、控制器:电科数字4、洁净设备:蓝英装备、美埃科技、金力泰5、光...