东方证券：国内半导体设备行业穿越周期，成长为核心特征。

市场担忧半导体行业景气度下 行，考虑到:1)在新兴技术驱动下半导体中长期需求乐观，且国内芯片制造产能 全球占比低;2)国产化率提升为当前设备核心增长逻辑，份额非线性加速提升带 来高增长，我们认为国内半导体设备行业成长属性无虞。本报告从产品覆盖度、技 术竞争力、在手订单及业绩等多维度分析对比国内半导体设备厂商竞争力及成长 性，整体来看，细分龙头厂商已实现初步导入，技术水平/工艺覆盖度有望快速提 升，完成 0 到 1 向 1 到 N 的转变，有望加速放量。

⚫ 份额加速提升逻辑持续兑现，规模效益体现带动盈利能力大幅提升。半导体设备整 体国产化率仅 10%左右，大致分为三个梯队，第一梯队为大部分国产化的领域，主 要为去胶设备;第二个梯队为小部分国产化的领域，主要包括清洗设备、CMP 设 备、刻蚀设备，国产化率在 10-20%左右的水平;第三梯队为国产化起步阶段的领 域，主要包括薄膜沉积设备、离子注入设备、涂胶显影设备等，国产化率大多在低 个位数水平。从国内半导体设备厂商合同负债及存货情况来看，国内半导体设备厂 商在手订单充沛，份额加速提升逻辑将持续兑现。当前国内厂商净利率较低，主要 系企业处于发展初期，研发投入大，随着企业经营规模扩大，规模效应显现，盈利 能力有望进一步提升，业绩弹性进一步释放。

⚫ 产品覆盖度:北方华创领衔，多数厂商仍处深耕细分领域阶段，先做精后做强。我 们从设备环节-细分品类-工艺覆盖纵深分析国内各家半导体设备厂商产品覆盖度并 进行横向对比，国内部分厂商在清洗、CMP、离子注入等环节目前已达到较高的产 品覆盖度，达到 80%以上的水平，以检测及量测设备为代表的细分产品分类众多的 设备大类，国内目前产品覆盖度依然较低，细分产品覆盖度仅 20%左右的水平。整 体来看，当前国内覆盖度前三位依次为北方华创、中微公司、北京屹唐，在半导体 设备市场细分品类产品覆盖度分别可以达到 30%、23%和 17%。

⚫ 技术竞争力:产品制程覆盖度方面，国内设备厂商基本均可实现 28nm 及以上下游 应用。参与国家重大科技专项情况方面，北方华创、中微公司承担了众多国家刻蚀 设备等专项，芯源微、华海清科、中科飞测、盛美上海等厂商分别承担了涂胶显 影、CMP、检测、镀铜等设备的重大专项。专利角度，国内半导体设备厂商经过长 期积累，申请获得大量专利，其中北方华创专利数量达到 3300+件，其他半导体设 备环节龙头厂商亦具备 200-300 件左右专利积累。客户拓展情况方面，国内中微公 司、芯源微、拓荆科技已切入国际领先晶圆厂供应链体系，盛美上海也具备供货海 力士和美国客户的技术能力。研发配置方面，国内龙头厂商积极引进培养高水平人 才，并积极与知名高校及科研院所展开合作研发，打造产学研一体化布局。

⚫ 各厂商积极布局，上游零部件国产化有望加速。近年来，国内半导体厂商在积极推 行供应链本地化战略 ，内生、外延并进，逐步增加本土采购的比例。根据披露，目 前中微刻蚀设备已实现 60%零部件国产化，MOCVD 实现 80%零部件国产化;华海 清科本土原材料的采购比例达到约 50%，助推设备领域本土化进程。

投资建议与投资标的

我们认为半导体设备领域壁垒高，市场前景广阔，本土厂商在国产替代趋势下业绩 确定性高，长期成长属性凸显。建议关注国内半导体设备领先企业芯源微、拓荆科 技、中微公司、万业企业、北方华创、华海清科、盛美上海等。


风险提示
半导体设备国产化进度不及预期、半导体设备行业景气度不及预期、客户验证进展 不及预期、零部件断供风险、假设条件变化影响测算结果。