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$苏大维格(SZ300331)$ 激光直写光刻机可以用于微纳米制造领域,包括微机电系统、掩模板、微流控、微纳光学器件、超材料等。但是,之前有科普说激光直写技术效率太低,不可用于量产,无实际意义。因此,目前芯片制造主要还是采用光刻技术。