光源是美国Cymer，后来被ASML收购了，光刻机核心3大件，光源，目前应该仍然是美国生产，但主体是ASML；物镜系统是德国蔡司，这个占比最高，在ASML的采购中，蔡司是第1大供应商；德国通快的激光器，ASML自己的双工件台。所以，光刻机技术里主要是美国的光源，其它与美国关系不大。