2023-11-17 00:19
ZL考察了中科院长春光机所,要求加快技术研发和成果转化,更好助力高水平科技自立自强。
奥普光电:中科院长光学所持股公司42.4%的股权,非常有希望在国产高端光刻机上实现突破。其研制的国内第一套EUV光刻原理装置,实现了EUV光刻的原理性贯通。2008年国家“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”科技重大专项将EUV光刻技术列为“32-22nm装备技术前瞻性研究”重要攻关任务。长春光机所作为牵头单位,承担起了“极紫外光刻关键技术研究”项目研究工作。
$张江高科(SH600895)$ $福晶科技(SZ002222)$ $炬光科技(SH688167)$