一、设备:中芯国际灵魂中军(1)光刻机:上海微电子(未上市,张江高科持股)(2)刻蚀机:中微公司、北方华创(3)薄膜沉积设备:北方华创、拓荆科技(4)原子层沉积设备:拓荆科技(5)化学机械抛光设备:华海清科(6)清洗设备:盛美上海...