垂直沟道晶体管 (VCT:vertical channel transistor) 可以是一种 FinFET,其中导电沟道被薄硅“鳍片”包裹,形成器件主体。VCT 也可以是环栅 (GAA) 晶体管,其中栅极材料从所有侧面包围导电沟道。