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Lee副总裁解释说:“许多公司正在努力过渡到4F Square VCT DRAM,”他补充道,“但是,要实现这一目标,必须优先开发氧化物沟道材料和铁电体等新材料。”
垂直沟道晶体管 (VCT:vertical channel transistor) 可以是一种 FinFET,其中导电沟道被薄硅“鳍片”包裹,形成器件主体。VCT 也可以是环栅 (GAA) 晶体管,其中栅极材料从所有侧面包围导电沟道。Lee副总裁解释说:“许多公司Lee副总裁解释说:“许多公司Lee副总裁解释说:“许多公司