受大基金三期成立消息提振，昨日半导体板块午后异动上行，设备方向领涨全市场。
在昨日强势收涨4.35%背景下，聚焦设备、材料等上游产业链的半导体设备ETF（561980）依然获得954万元资金净申购，近5日净流率为7.29%；拉长到近60日看，累计净申购额升至5384万元，区间净流率达71.78%。$半导体设备ETF(SH561980)$ $上证指数(SH000001)$
消息面上，昨日大基金三期成立的消息成为板块反弹的燃点。事实上，去年半导体行业经历周期性下滑，今年以来随着下游需求的复苏及新应用的落地，有望推动行业筑底修复。
从今年一季度上市公司数据看，我国半导体行业公司总营收增速扩大，特别是半导体设备细分板块营收、净利同比均实现高增。现在随着大基金三期成立的长线利好加持，业内对半导体走出周期底部更多了几分乐观态度。
中信证券研报表示，国家集成电路产业投资基金（大基金）三期正式成立，从本次出资情况来看侧重金融支持实体以及壮大耐心资本的导向，在委托管理模式和投资期限方面都可能较一期二期出现一些调整优化，中信证券认为采取长期目标导向有助于避免短视，有助于长期产业发展。
国金证券表示，大基金三期注册资本显著高于前两期，国家继续加大对于半导体产业链投资扶持力度。在两期大基金的投资扶持下，半导体国产替代第一阶段已初步完成，但部分环节仍处于“卡脖子”阶段。在光刻机、量/检测设备、涂胶显影设备、离子注入设备领域，整体国产化率仍然较低，但在清洗设备、部分刻蚀设备、CMP 设备及热处理设备领域已基本完成国产替代。
其中，光刻机是半导体设备中最昂贵、最关键、国产化率最低的环节。光学系统是光刻机的核心，光刻机制程越小，对光学系统的精度要求越高，目前仅有少数公司（德国蔡司、日本佳能、尼康）具备光刻机超精密光学系统供应能力，看好国产光刻机光学、量/检测等环节投资机会。
对于大基金三期具体投向，中信证券预计半导体制造仍为最大，并有望进一步加大支持设备、材料、零部件、EDA、IP等卡脖子领域，建议持续关注相关领域龙头企业。
平安证券认为大基金三期注册资本超市场预期，鉴于前两期大基金撬动的地方政府资金、私募股权基金等社会资金规模远超大基金本身的募集规模，大基金三期的成立将进一步推动关键领域的国产化进程。与一二期相比，三期可能将继续加大与制造环节相匹配的上游关键设备材料零部件的投资，尤其是先进制程、先进封装相关环节，同时可能更加关注AI芯片、HBM等前沿先进但国内目前相对薄弱的“卡脖子”领域。
据了解，半导体设备ETF（561980）为市场首只追踪中证半导体产业指数的产品，标的指数主要聚焦40只半导体设备、材料等上游产业链公司，前十大成份股覆盖北方华创、中微公司、中芯国际、韦尔股份、海光信息、拓荆科技、华海清科等股，合计占比约76%，指数集中度相对较高。
行业分布上，该指数也更侧重上游设备、材料等，其中“半导体设备”占比近55%，设备含量在主流半导体指数中居第一。场外布局也可通过联接基金（A类:020464；C类:020465）进行定投、申购。
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中证半导体产业指数近五年表现分别为85.59%(2019)、83.00%(2020)、30.00%(2021)、-29.65%(2022)、-3.90%（2023）。中证半导体产业指数由中证指数有限公司编制和发布。指数编制方将采取一切必要措施以确保指数的准确性，但不对此作任何保证，亦不因指数的任何错误对任何人负责。指数过往业绩不代表其未来表现，亦不构成基金投资收益的保证或任何投资建议。指数运作时间较短，不能反映市场发展的所有阶段。