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2022-11-27 17:53
CMP 行业:市场规模稳步增长,国产厂商加速突破,CMP 是半导体制造过程中实现晶圆全局均匀平坦化的关键工艺
CMP(化学机械抛光)通过化学腐蚀与机械研磨的协同配合,实现晶圆表 面多余材料的高效去除与全局纳米级平坦化。
集成电路普遍采用多层立体 布线,集成电路制造的前道工艺环节需要...