全球第一台! 分辨力最高! 七年磨一剑,中国自主研发的紫外超分辨光刻机,终于来了! 前不久,北京传来大消息:中国科学院成功研制出了世界首台分辨力最高紫外超分辨光刻机,其光刻分辨力达到22纳米,结合多重曝光技术后,可用于制造10纳米级别的芯片。你没有看错,...