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回复@卜卜1234: 波长6.5的//@卜卜1234:回复@京城Z先生:$张江高科(SH600895)$ 一看就不对,小于2纳米的用PUV了,EUV根本不行。
引用:
2024-06-20 18:10
阿斯麦宣布,其最新研发的超级EUV(极紫外线)光刻机已具备量产0.2nm工艺的能力,这一里程碑式的进展无疑将再次引领半导体产业迈入新的高度
之前理论上认为1纳米就是隧穿效应,这相当于再次突破了物理学
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