再说几句精测电子量测设备主要用于测量光刻误差，筛选图案缺陷，然后再反馈回光刻机系统作修正，说直白点，量测设备的好坏直接决定光刻机台的良率，从而影响整条产线的良率，它的壁垒其实是很高，而且由于国内一直比较缺乏光刻机台的配套，量测设备自然也就相对落后，在精测电子突破之前，能...