10月13日，半导体设备ETF（159516）涨3.43%，成交额16.83亿元。当日份额增加2.77亿份，最新份额为56.87亿份，近20个交易日份额增加31.98亿份。最新资产净值计算值为90.68亿元。 半导体设备ETF... 网页链接