9月30日，截止午间收盘，半导体设备ETF（159516）涨1.21%，报1.585元，成交额8.27亿元。半导体设备ETF（159516）重仓股方面，北方华创截止午盘跌0.24%，中微公司跌0.74%，沪硅产业涨2.36%，华海... 网页链接