9月30日，半导体设备ETF（159516）开盘涨0.64%，报1.576元。半导体设备ETF（159516）重仓股方面，北方华创开盘跌0.23%，中微公司跌0.98%，沪硅产业涨0.47%，华海清科跌1.11%，南大光电涨1.29%，... 网页链接