9月29日，半导体设备ETF（159516）涨2.49%，成交额15.06亿元。当日份额增加2.96亿份，最新份额为50.18亿份，近20个交易日份额增加23.90亿份。最新资产净值计算值为78.48亿元。 半导体设备ETF（... 网页链接