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谈谈对Bonding的粗浅认知,这里主要谈间接键合:

目前HBM需要用到键合的主要是两道工序,

一个,HBM本身,HBM简单理解其实就是几个GDDR堆叠在一起,堆叠的过程就是键合的过程,这就产生了两种方案,

一种是SK海力士方案,叫做MR-MUF,用回流焊连接两层die,之后灌注高分子材料填充微凸点间空隙,华海诚科就是做这种高分子材料的厂商,

还有一种是三星,美光方案,用非导电薄膜填充微凸点之的间空隙,之后使用热压键合工艺连接两层die,

还有,就是最后将HBM,GPU键合在中介层,CoWos封装所谓的Cow就是这道工序,也就是所谓的2.5D封装,

这两种都是需要通过凸点去彼此链接的,所以叫间接键合;

键合工艺本身并不难,因为再怎么难,仍然是后道工艺,比起前道的TSV工艺,制作DDR,这种难度还是要小很多的;

关键在于如何与晶圆厂去配合,工艺需要去调和

键合设备来看,目前韩国那两家都采购于自己扶持的设备商,三星主要是SEMES,日本东丽,新川,海力士主要是韩美半导体,以及ASMPT,美光我猜测可能是日本的TEL。

键合设备相比于刻蚀设备,光刻设备制作难度小得多,刚刚提到的键合设备厂商,其实并不是世界上的主流厂商,也足以说明设备制造难度不大,关键是看怎么去和晶圆厂工艺去调和。

世界上键合设备厂商比较先进的主要是Besi,ASMPT,K&S,在键合精度,效率这几个核心指标是完全不输三星和海力士供应商的。HBM潮流下,这几家键合设备厂商有很大预期去打入产业链,值得我们去关注。

$ASM 太平洋(00522)$ $英伟达(NVDA)$ $赛腾股份(SH603283)$

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03-18 11:27

哀股好几个AI都是乱炒。这个算是真有技术而且受益。

确实是这个格局 之前持有asmpt 落袋了

03-15 09:29

大佬厉害,几句话就讲清楚了几个技术概念,受益匪浅