谈谈对Bonding的粗浅认知,这里主要谈间接键合:
目前HBM需要用到键合的主要是两道工序,
一个,HBM本身,HBM简单理解其实就是几个GDDR堆叠在一起,堆叠的过程就是键合的过程,这就产生了两种方案,
一种是SK海力士方案,叫做MR-MUF,用回流焊连接两层die,之后灌注高分子材料填充微凸点间空隙,华海诚科就是做这种高分子材料的厂商,
还有一种是三星,美光方案,用非导电薄膜填充微凸点之的间空隙,之后使用热压键合工艺连接两层die,
还有,就是最后将HBM,GPU键合在中介层,CoWos封装所谓的Cow就是这道工序,也就是所谓的2.5D封装,
这两种都是需要通过凸点去彼此链接的,所以叫间接键合;
键合工艺本身并不难,因为再怎么难,仍然是后道工艺,比起前道的TSV工艺,制作DDR,这种难度还是要小很多的;
关键在于如何与晶圆厂去配合,工艺需要去调和
键合设备来看,目前韩国那两家都采购于自己扶持的设备商,三星主要是SEMES,日本东丽,新川,海力士主要是韩美半导体,以及ASMPT,美光我猜测可能是日本的TEL。
键合设备相比于刻蚀设备,光刻设备制作难度小得多,刚刚提到的键合设备厂商,其实并不是世界上的主流厂商,也足以说明设备制造难度不大,关键是看怎么去和晶圆厂工艺去调和。
世界上键合设备厂商比较先进的主要是Besi,ASMPT,K&S,在键合精度,效率这几个核心指标是完全不输三星和海力士供应商的。HBM潮流下,这几家键合设备厂商有很大预期去打入产业链,值得我们去关注。