传台积电将购入18台EUV光刻机 7nmEUV最快3月量产

发布于: 新闻转发:0回复:0喜欢:0
(观察者网讯)据台湾科技类网站2月12日消息,为延续7纳米制程领先优势,台积电支持极紫外光(EUV)微影技术的7纳米加强版(7+)制程将按既定时间于3月底正式量产,而全程采用EUV技术的5纳米制程也将在2019年第2季进入风险试产。 据了... 网页链接