时至今日，电动晶圆台、卓越的对准技术和蔡司的镜头是ASML的技术基石。几十年来，超快、超精密的晶圆台和对准技术一直是ASML的独特优势，这也是芯片制造商购买荷兰光刻机的原因电动晶圆台使ASML的步进光刻机成为世界上最高效的光刻机，并且其对准系统可确保在高速情况下一切仍以超高精度运行。
在 Natlab，范恩格伦用新的伺服和控制系统进行实验，以使其在H型晶圆台中实现最佳性能。直线洛伦兹电机能够非常迅速地将物体移动几十英寸，但它们也有局限性。若使用这些直线电机，则很难在1/10微米内实现长冲程和所需的定位精度。范恩格伦总结道，未来更精准的定位要求将使直线洛伦兹电机达到其能力极限。
相位光栅和镜后测光的结合是如此的具有革命性和先进性，它使AML在未来几十年的竞争中一直领先。这种结合和直线电动机（后来在 Natlab实现）一起构成了ASML成功的技术基础。它是一项关键的发明，将使ASML征服全球市场，并成长为2000年后芯片光刻工艺的主要供应商。
投影系统并不是范希克和布休斯所面临的唯一光学挑战。这一过程还涉及大量的操作和精准的移动。
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