前中国工程院院长周济:《“数控一代”机械产品创新工程》的战略意义和技术路线中提到过数控技术在光刻机核心的精密工作台上的运用。
研发我国光刻机运动控制系统的其实就是数控系统专家。
直线电机都没有,更别提测试平台了。格力之前只能去国外。
国内唯一。
这个平台神奇在什么地方?