作为一个20年半导体老兵,我直接来說目前国产光刻机,上海微smee的情況,依照smee之前发布的讯息,2022年底将完成193nmArF准分子激光浸润式光刻机的样机,如今项目如何了?再说明国产光科机的真实情况之前,作者先来谈谈这12月初也就是这两天美国与荷兰...