【深交所互动易】“Tcarroll” 提问:公司官方网站显示公司承担了863计划刻蚀机的研发与应用的项目并主导该项目,公司是否有刻蚀机相关技术?
公司官方回答:您好,感谢您对本公司的关注。公司863计划“金属基亚微米结构紫外激光刻蚀技术与系统”课题项目已于2009年经国家科技部验收,并获得部分相关专利授权。至现阶段,该项目研究成果已广泛应用于公司光刻设备中。谢谢!
公司官方回答:您好,感谢您对本公司的关注。公司光刻设备主要为紫外光刻直写设备,公司光刻机从设计、组装以及所用软件的开发,均由本公司自主完成,主要用于柔性电子、MEMS以及半导体上游器件等产品的研发与制造。其在满足自身需求的基础上,同时也已逐步面向国内外高校和研究所销售;2018年,公司精密光刻设备分别交付安徽大学、湖南大学、中科院病毒所等知名高校与研究所,进一步加大了公司在激光微纳加工领域的影响力。谢谢!
【深交所互动易】“Tcarroll” 提问:公司官方网站显示公司承担了863计划刻蚀机的研发与应用的项目并主导该项目,公司是否有刻蚀机相关技术?
公司官方回答:您好,感谢您对本公司的关注。公司863计划“金属基亚微米结构紫外激光刻蚀技术与系统”课题项目已于2009年经国家科技部验收,并获得部分相关专利授权。至现阶段,该项目研究成果已广泛应用于公司光刻设备中。谢谢!