回复@beiguoqishi: 是800-1000万/GW。
ALD整套工艺炉+自动化+配件辅材，应该接近1000万/GW。
$连城数控(BJ835368)$ $隆基绿能(SH601012)$//@beiguoqishi:回复@连城Z:$连城数控(BJ835368)$ $隆基绿能(SH601012)$ 
这个是表格有些数据不太准确，ALD还有连城的艾华ALD，另外ALD价值量在800-1000万/GW；LPCVD的价值量基本是这个数。