芯片核心股汇总： 一、设备：中芯国际灵魂中军 （1）光刻机：上海微电子（未上市，张江高科持股） （2）刻蚀机：中微公司、北方华创 （3）薄膜沉积设备：北方华创、拓荆科技 （4）原子层沉积设备：拓荆科技 （5）化学机械抛光设备：华海清科 （6）清洗设备：盛美上海、北方华创、芯源微...