$万业企业(SH600641)$ 离子注入工艺在XOI异质集成化合物半导体方向上的应用催生低温量子、光计算、光通信等领域革命性技术。目前，单晶铌酸锂薄膜或单晶钽酸锂薄膜的制备方法主要有外延生长法，减薄抛光体材料法以及离子注入法。其中，由于铌酸锂和钽酸锂与衬底材料之间的晶格失配比较大、膨...