$万业企业(SH600641)$ 凯世通发布的CIS低能大束流机，个人认为仅是大束流机型应用的拓展而已。CIS方面的应用，重点是有效解决金属污染问题，比如晶圆载台、机械手臂使用带有陶瓷涂层的产品，或者有些零件套上硅胶帽，避免离子束直接与金属接触，从而降低金属离子随离子束一同注入晶圆的风险。因此感觉凯世通单独把这款机型作为新机正式发布有点不痛不痒，其实现场凯世通宣传图上已有超高能机，为何不作为新机正式发布，相较凯世通已发布的高能机，超高能机才说得上是全新机型，其价值毋庸置疑是大于CIS低能大束流机的。下面图一图二是索尼CIS工艺；图三 三星CIS工艺；图四豪威CIS工艺；图五高深宽比光电二极管，需要超高能机注入，提高图像传感器FWC