💡PECVD
📈 三年复合增速52%（头部设备企业）
⚠️简述 TOPCon电池大规模量产，PECVD或成为主流工艺
特点
1️⃣ 目前，TOPCon已投产69.75GW，规划待建产能近474GW；但存在工艺路线之争，分为LPCVD/PECVD/PVD路线，从工业角度看，流程简单且产量大是必须，而关键点在于隧穿氧化层的质量，对电池效率影响较大
2️⃣ LPCVD路线目前最成熟，但严重绕镀，需增加一倍设备；PVD路线维护频率高，开机率低；PECVD在效果等同于LPCVD时，轻微绕镀、且清洗容易，有技术优势（以下简称PE和LP）
3️⃣ PE设备投资成本低、产能大、维护成本低；PE石英件消耗比LP约省3530 万/年(5GW计)，还可省一半人工投入；所以PE在技术优势同时更具经济性
🔊观点 在行业稳定之后，PECVD很有望成为主流工艺，在TopCon增长的基础上有相对优势
$捷佳伟创(SZ300724)$： 国内电池片设备龙头，PE-Poly设备（PECVD工艺）已累计获得超 50GW 订单；HJT 路线也完成 GW 级产线设备出货；钙钛矿的整线设备也进入了研发阶段
$金辰股份(SH603396)$ ：TOPCon设备已形成小批量订单，管式PECVD 样机已在晶澳科技、东方日升、晶科能源等客户试用
$拓荆科技-U(SH688072)$ ：PECVD头部厂商，业绩预告略超预期，在手订单充足，PECVD 业务占比超过90%，出货量上国内领先
