赛微电子是为全球光刻机巨头厂商提供透镜系统MEMS部件的工艺开发与晶圆制造服务的公司，ASML目前是赛微电子MEMS业务的前十大客户之一1。赛微电子是我国MEMS工艺开发与晶圆制造领先企业之一，主营业务包括半导体和特种电子两个领域，其中半导体业务逐年扩大份额。赛微电子作为中国的MEMS传感器龙头之一，一直在推动技术创新和产业发展，并对光刻机制造商提供支持2