截至午盘，$半导体设备ETF(SH561980)$ 第一重仓股$北方华创(SZ002371)$ 盘中成交额超12亿元。数据显示，5月13日北向资金逆势加仓北方华创，净买入2.862亿元，居于市场首位。$创业板指(SZ399006)$ #半导体设备公司# #半导体设备和材料#