预期马上走进现实，如有雷同纯属巧合：年报P12：目前诸如FeRAM等新型存储技术，公司镀膜设备已进入行业重要客户端，处于量产验证阶段。P28：在铟镓锌氧化物（IGZO）等半导体材料以及铁电存储器（FeRAM）等新型存储领域内储备并开发了多种工艺及设备。IGZO相关工艺和设备处于客户测试阶段。FeRAM相关工艺和设备目前正在客户产线进行量产验证，成为国内少数成功量产应用于新型存储器制造生产线的国产薄膜沉积设备之一。另外：2023年9月中国科学院微电子所采购微导*纳米“多腔室新型高K金属栅ALD生长系统”（天眼查可以获取采购信息），另外“铟镓锌氧化物（IGZO）”也是如有雷同、纯属巧合，还是“行业重要客户”、中科院、微导*纳米。
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