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ALD技术在微电子、光电子、纳米技术、光学、MEMS、催化、能源、显示器、生物、分离膜、耐磨蚀及密封涂层等领域均拥有广泛的应用。根据Variant Market Research的研究显示，预计到2024年，全球原子层沉积(ALD)设备市场将达到80.59亿美元，年复合增长率将达到29.1%。
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引用：
2024-05-02 14:23
（ALD）原子层沉积，将成为半导体的主流薄膜沉积工艺
泰科诺 2023-12-10 18:15
近几年，ALD技术在大曲率和特殊形状的光学元件表面镀膜的优势越来越明显，随着半导体集成电路行业的推陈出新，电子器件不断走向微型化和集成化发展。在此趋势下，若想让这些间隔极小的微纳结构相互协同、互不...