$北方华创(SZ002371)$ 半导体设备是制造企业的重要利器。以最主要的集成电路制造为例，分为晶圆加工设 备和辅助设备。晶圆加工设备(俗称 Baseline 设备)包括光刻机、刻蚀机、薄膜设备、离子注入机、 CMP 设备等；辅助设备包括检测设备、清洗设备等。全球半导体设备龙头有 ASML、应用材料、拉 姆研究、泰瑞达等，国内集成电路设备公司有北方华创、长川科技、至纯科技等。